產(chǎn)品特征:
最大行程4m x 4m 以線性滑軌或空氣軸承架構之定位平臺良好接地設計防止雜訊干擾 Z向震動可達奈米等級以下最大速度可達5m/s 標準重現(xiàn)精度1um或以下位置回饋系統(tǒng)解析度最低可達50nm
產(chǎn)品應用:
半導體設備 自動化搬送 FPD設備 太陽能制造設備 PCB設備 水刀設備 鉆石切割設備 AOI檢測設備 工具機
蘇公網(wǎng)安備 32050502000593號