產(chǎn)品特征:

最大行程4m x 4m
以線性滑軌或空氣軸承架構之定位平臺良好接地設計防止雜訊干擾 Z向震動可達奈米等級以下最大速度可達5m/s 標準重現(xiàn)精度1um或以下位置回饋系統(tǒng)解析度最低可達50nm

產(chǎn)品應用:

半導體設備
自動化搬送
FPD設備
太陽能制造設備
PCB設備
水刀設備
鉆石切割設備
AOI檢測設備
工具機